工業無塵室隔間

無塵室隔間內的工作桌等障礙物,在相接處均會有渦流現象發生,相對地在其附近之潔凈度將會較差,在工作桌面鑽上迴風孔,將使渦流現象減少最低;組裝材料之選擇是否恰當、設備布局是否完善,亦為氣流是否成為渦流現象之重要因素。

以無生命微粒的控制為對象。主要控制空氣塵埃微粒對工作對象的污染,內部一般保持正壓狀態。它適用於精密機械工業、電子工業(半導體、集成電路等)宇航工業、高純度化學工業、原子能工業、光磁產品工業(光碟、膠片、磁帶生產)LCD(液晶玻璃)、電腦硬碟、電腦磁頭生產等多行業。

電子元件製品的製造過程中,微粒子污染對成品率有重大影響,故應在過程中嚴格控制微粒子的數量,遵守「不攜入、不發生、不儲備、除去」四項基本原則以防止微粒子污染。無塵室隔間內的浮遊微粒子濃度,使用高性能的過濾器即可容易達到零水平,實際的生產現場由於作業者、機器、周邊機械的發塵及基板運送時所接觸的零件材料的發塵等,在製造品周邊揚起了少許的微粒子,因而造成了元件清潔面的粒子污染。